Снятие фоторезиста в кислородной плазме РПГ - 128 (НИКА - 2012) RF plasma photoresist removed. скачать в хорошем качестве

Снятие фоторезиста в кислородной плазме РПГ - 128 (НИКА - 2012) RF plasma photoresist removed.

На данном видео показана работа радиочастотного плазменного генератора РПГ-128 в составе вакуумной установки НИКА-2012. С помощью данного генератора производится снятие фоторезиста в кислородной плазме. 13.56 МГц. Отчётливо видно изменение цвета свечения плазмы при прохождении пластин с фоторезистом над генератором. Когда в плазму попадают пластины с фоторезистом цвет меняется с белого на жёлтый. Когда весь фоторезист будет снят, плазма будет светится только жёлтым. In this video shows the operation of a radio-frequency plasma generator RPG-128 as part of the vacuum unit NIKA 2012. With this generator is made removing the photoresist in an oxygen plasma. Clearly visible color change of plasma glow in passing plates with photoresist on the generator. When the plasma fall plates with photoresist color varies from white to yellow. When all of the photoresist is removed, the plasma will light only yellow.