У нас вы можете посмотреть бесплатно Magnetically Levitated Stage MI-Partners Topology Optimisation или скачать в максимальном доступном качестве, видео которое было загружено на ютуб. Для загрузки выберите вариант из формы ниже:
Если кнопки скачивания не
загрузились
НАЖМИТЕ ЗДЕСЬ или обновите страницу
Если возникают проблемы со скачиванием видео, пожалуйста напишите в поддержку по адресу внизу
страницы.
Спасибо за использование сервиса ClipSaver.ru
High precision machines such as EUV wafer scanners and E-beam measurement systems require a high vacuum level. Contamination of this vacuum due to moving cables and bearings of the positioning stages within are an issue. An inverted planar motor solves this contamination issue but leads to a complex system due to position dependent commutation and a large number of coils. Therefore an alternative stage design is made at MI-Partners which has a low degree of complexity and does not cause contamination of the vacuum. By making use of topology optimisation a higher control bandwith can be achieved.