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중국 EUV 장비 개발 및 25년 설치 발표 - (ASML 대표 회사) - 기술적으로 가능 - 인하대 주승환교수

개발 가능한 EUV 장비 – 중국 금년 생산, 국내에도 연구 개발 필요 ASML EUV 장비가 대표적 인하대 반도체 그룹의 연구 방향 및 로드맵 1. DW EHD, 잉크젯, Dispensing, 에어로졸을 총칭해서 DW 라고 합니다. 이미 기술이 완료가 되어서, 국내에도 충분히 가능하고, 헤드 제어 등이 다 가능합니다. 현재는 기술이 방향이 소재의 문제로 가고 있습니다, 이 분야는 우리 대학원생 및 연구원이 전문으로 담담하고 있슴. 2. 초정밀 나노 단위 제어시스템 및 장비 저는 장비 개발이 끝나 다음 장비, 하이브리드 장비와 EUV 에 사용되는 nm 단위 초정밀 시스템 제어에 집중하고 있습니다. 하이브리드 본딩은 500-50nm 단위 ASML EUV 장비는 16-1 nm 단위 제어 방식은 하이브리드 본딩이 도입부에 기초이고, EUV ASML 스캐너의 방식은 좀 더 정밀하게 발전된 방식이지요. 근본적으로는 비슷하고, 하이브리드 본딩이 도입부입니다. 이 기술을 꼭 개발을 해야 합니다. 주승환

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