У нас вы можете посмотреть бесплатно When Lithography Requires Multiple Patterning: Avoiding Analog Distortions in the Resist Layer или скачать в максимальном доступном качестве, видео которое было загружено на ютуб. Для загрузки выберите вариант из формы ниже:
Если кнопки скачивания не
загрузились
НАЖМИТЕ ЗДЕСЬ или обновите страницу
Если возникают проблемы со скачиванием видео, пожалуйста напишите в поддержку по адресу внизу
страницы.
Спасибо за использование сервиса ClipSaver.ru
Advanced process nodes today require some form of multiple patterning, i.e., cases where a layer requires multiple exposures to form a given pattern. While it is most simply understood to be the result of a minimum pitch limitation, in practice, avoiding pattern distortions when exposing the resist is the more subtle constraint, as will be shown in this video.