FAULHABER Wafer Pin Lifter Demo скачать в хорошем качестве

FAULHABER Wafer Pin Lifter Demo

Die Demo-Anwendung Wafer Pin-Lifter basiert auf einem kundenspezifischen System für Wafer-Handling in der Halbleiter-Produktion. Sie beinhaltet drei sogenannte “Pin-Lifter Module” – kundenspezifische Antriebslösungen auf Basis eines bürstenlosen FAULHABER DC-Motors der Serie 2232 BX4 (https://www.faulhaber.com/de/produkte...) mit spielfreier Kugelumlaufspindel, die Kräfte von bis zu 45 N erzeugt, sowie einem optischen Linear-Absolutencoder für präzise Positionierungen bis 15 µm. Drei Motion Controller der Baureihe MC5004 (https://www.faulhaber.com/de/produkte...) mit EtherCAT Schnittstelle übernehmen die Steuerung, während eine ctrlX Core Steuerung von Bosch Rexroth als Master für die synchronen Bewegungsabläufe sorgt. The Wafer Pin Lifter demo application is based on a customized system for wafer handling in semiconductor production. It includes three so-called “Pin-Lifter modules” - customized drive solutions based on a FAULHABER 2232 BX4 series brushless DC-motor (https://www.faulhaber.com/en/products...) with backlash-free ball screw that generates forces of up to 45 N, as well as an optical linear absolute encoder for precise positioning down to 15 µm. Three motion controllers from the MC5004 series with EtherCAT interface (https://www.faulhaber.com/en/products...) take over the control, while a ctrlX Core controller from Bosch Rexroth acts as master for the synchronized motion sequences.