У нас вы можете посмотреть бесплатно PZT MEMS - Thin Film PZT Actuators and Other Technology from Army Research Lab или скачать в максимальном доступном качестве, видео которое было загружено на ютуб. Для загрузки выберите вариант из формы ниже:
Если кнопки скачивания не
загрузились
НАЖМИТЕ ЗДЕСЬ или обновите страницу
Если возникают проблемы со скачиванием видео, пожалуйста напишите в поддержку по адресу внизу
страницы.
Спасибо за использование сервиса ClipSaver.ru
http://techlinkcenter.org/summaries/p... . Piezoelectric MEMS (PiezoMEMS) Patent Portfolio: Thin Film PZT Deposition, Development, Device Designs, and Testing. While electrostatic actuation is established in MEMS devices, in many cases the cost of small electrode gap spacing and large driving voltages requires specialized high voltage charge pump circuits